寶的插入式電磁流量計，0331-C-03,0-FF-MS-FB02-024/DC-08

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接接觸，因此具有許多特定的YS，其中之一就是對于流量變

化的響應極快。帶 CMOS 傳感器 的 MFC 具有100 ms 的響應時間，

且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。

度（由 RT 測得）之間始終保持一個恒定的溫差。所需的加熱電 流即

精度 以讀數(shù)的± x %，滿量程的 ± y % 表示。一個值為相 對百分數(shù)；個值為基本百分數(shù)。

重復性 以滿量程的 ± x % 表示。重復性是指：重復設置同一個 

設定值時，所產(chǎn)生的實際測量值的偏差。

kV 值 (流量系數(shù)) kV 值也稱流量因子或流量系數(shù)。它代表氣體或液

體流過 一個閥門時可以達到的流量，用于選擇閥門尺寸。kV 值 

的單位為 m3/h。它相當于水在溫度 5 - 30?°C、閥兩端壓 差 1 bar 時，流過閥門的流量 ( m3/h) 。

cV 值 (流量系數(shù)) 類似于 kV 值，但是用于英制測量系統(tǒng)，單

位為 US 加 侖/分，相當于在閥兩端壓差 1 psi 和水溫 60 °F 時測得 的流量。 cV = kV*1.17

用于測量流過該氣體通道的氣體流量。MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測得的

質(zhì)量流量非常 。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內(nèi)，所以

CMOS 傳感器 8711/8701、8712/8702、8713/8703 型

與在主管道中進行測量的式傳感器不同，CMOS 傳感器是在旁

路管道中進行測量的。主 管道中的層流元件產(chǎn)生一個必需的壓差，

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使小部分流量進入旁路管道。旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜 的硅芯片，

該式傳感器為 CTA（恒溫風速計） 工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測

量電阻 (RT) 之間 保持一個恒定的溫差。這兩個電阻都直接位于氣體

通道內(nèi)；另外三個電阻位于氣體通道之外。這 五個

電阻連接成一個測量電橋。氣體通道中的一個電阻 (RT) 測量介質(zhì)

溫度，另一個阻值電阻 (RS) 不斷被加熱，使其與介質(zhì)溫

滿量程范圍/額定流量 Qnom 滿量程范圍是指滿量程值的范圍。

用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有一個加熱電

阻和兩個對稱的 溫度傳感器（分別位于上游和下游）。如使加

熱電阻保持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的 電壓差

即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的質(zhì)量流量。 

該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直 

其小值是小的滿 量程值/額定流量；其較大值是較大的滿

量程值/額定流 量。單位為標準升/分或標準立方厘米/分等。

工作介質(zhì)/標定介質(zhì) 一般情況都采用工作介質(zhì)進行標定；特殊情況下采用參 考氣體（如氮氣）。

可調(diào)比 小可調(diào)流量值與額定流量的比值，如 1:50。

穩(wěn)定時間 設定值改變后，MFC 達到新舊流量差值的 95 % 所需的 時間，單位為毫秒。

響應時間 流量從 Q1 突變到 Q2 時，MFM 達到新值的 95 % 

所需 的時間： QMFM (t95) = Q1 + 0.95 (Q2 - Q1)

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