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即使流量很小時也是如此。與 CMOS 傳感器一樣,
工作原理:控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間
該式傳感器為 CTA(恒溫風速計)
兩個溫度相關的電阻纏繞在不銹鋼毛
細管上,構成半個惠斯頓電橋。
管道。而主要區(qū)別在于:毛細管傳感器不與介質直接接觸。
另外三個電阻位于氣體通道之外。這
所以當設定值或實際值變化時,該傳感
毛細管傳感器也是采用層流元件來產生壓差,使小部分流量進入旁路
電壓差即可用于測量旁路通道內流過芯片的氣體的質量流量。
傳感器可用于未經標定的氣體:
的 MFC 具有100 ms 的響應時間,且靈敏度高,
其線性關系甚至使該
五個電阻連接成一個測量電橋。氣體通道中的一個電阻 (RT)
測量介質溫度,另一個阻值電阻
(RS) 不斷被加熱,使其與介質溫度(由 RT 測得)
。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內,
通過采用一個轉換因子對當前介質的測量值進行修正。這樣就可
的硅芯片,用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術,
在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的
溫度傳感器(分別位于上游和下游)。
如使加熱電阻保持在一個恒定溫度,則兩個溫度傳感器的
管道中的層流元件產生一個必需的壓差,
使小部分流量進入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜
電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與流過的氣體的質量流量成線性關系。
保持一個恒定的溫差。這兩個電阻都直接位于氣體通道內;
簡化標定,同時正確選擇傳感器材質可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。
與在主管道中進行測量的式傳感器不同,
這時,R1 的阻值下降,而 R2 的阻值上升。
如果給電橋提供恒定的電流,其輸出電壓就與這兩個
CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。主
其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶 CMOS 傳感器
接接觸,因此具有許多特定的YS,
之間始終保持一個恒定的溫差。所需的加熱電
該溫度傳感器的熱量、與介質直
流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。
MFC 中合適的流量調節(jié)確保其所測得的質量流量非常
器的響應時間極短,只有幾百毫秒。
該傳感器的動態(tài)特性取決于不銹鋼毛細管的管壁特性,
它起著熱障的作用。毛細管傳感器的
此外,該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
當氣體流過毛細管時,就會帶走一部分熱量,流向為從 R1 至 R2。
響應時間通常為幾秒,適用于大多數(shù)腐蝕性或毒性氣體。
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