結(jié)構(gòu)方式標準型真空吸盤KOGANEI,小金井檢測方式
本產(chǎn)品的異常輸出電路在電源接通約1秒鐘后開始正常動作。在
設(shè)計裝置安裝時的異常檢測電路時,應(yīng)加以充分注意。
關(guān)閉除靜電器本體的電源后,若立即接通電源,會產(chǎn)生異常輸
出。關(guān)閉后需要重新接通時,應(yīng)間隔1秒鐘以上。
關(guān)閉除靜電器本體的電源后,可能會產(chǎn)生異常輸出。
設(shè)計異常檢測電路時,應(yīng)充分注意在關(guān)閉除靜電本體的電源后1
秒鐘內(nèi)不檢測除靜電器的異常輸出。
:H.V關(guān)閉的狀態(tài)下打開或關(guān)閉除靜電器時也相同。
2:上述任一情況均不會影響除靜電器的性能。
除靜電特性為本公司測定的參考值,并非值。
內(nèi)置有小型高壓電源,可以使用電壓DC電源。
無需專用的高壓電源或高壓配線,不會出現(xiàn)外露配線的高壓故障。
可以準確地對目標點進行點狀除電。
由于利用軟管或金屬管可以接近產(chǎn)品,因此可以迅速地對目標點進行除靜電。
與帶電物體之間的小距離僅為1mm。
在距離100mm處,從±1000V到±100V的衰減時間不到1秒種。
(使用標準噴嘴,施加0.1MPa時)
由于在離子吹風口沒有集中電場,因此不會對器件等造成破壞。
傳統(tǒng)的除靜電器會因高壓電而產(chǎn)生電場,
一旦靠近除靜電器的話,便可能會導致器件損壞。
而小金井的除靜電器不會對器件等造成破壞。
輸出電壓,因此幾乎不會發(fā)生雜波干擾。
符合EN55011:1998 Group1 ClassA。
產(chǎn)生離子的高壓系統(tǒng)出現(xiàn)異常時會輸出警報。
可以防止因除靜電器的除電不良而引起的產(chǎn)品質(zhì)量問題。此外,可以選擇a接點或b接點。
CE標志符合產(chǎn)品。
過濾器的IN口(Rc1/8、Rc1/4)為鋁合金制。請勿使用鋼管等進行
配管,以免作用過大的力。
過濾器的使用目的是為了去除固體物質(zhì),因此除此以外的水分油分應(yīng)事先去除。
配管時,應(yīng)注意確??諝庖詷撕瀮?nèi)的黑色箭頭的方向流動。(請勿反向使用。)
止回閥會產(chǎn)生粒徑0.3μm以上、每1cf/min 50個以下的發(fā)塵。
請勿接入斷續(xù)的空氣(間歇動作)。
否則,可能會損壞過濾膜。
以往用軟管或金屬管不能運送離子現(xiàn)成為可能。
即使是無法安裝除靜電器的地方也可進行除靜電。
備有控制器。
備有用于去除固體雜質(zhì)的管路過濾器(PLF100)和壓力調(diào)節(jié)用調(diào)壓閥,
可對噴嘴式除靜電器的電源和空氣的ON、OFF進行一體控制。
零件進料器在運送零件時,會因零件的摩擦等原因而產(chǎn)生靜電,
從而導致零件粘附在進料器表面上。
通過使用除靜電器,可以防止靜電引起的零件粘附供應(yīng)不暢的
現(xiàn)象。
此外,也可通過與風扇式除靜電器一起使用來進行除靜電。
使用離子風排放角度較大的花灑式噴嘴等,可以除去硅晶片等的
靜電。
與高頻電磁閥進行組合后,便可通過高節(jié)拍的間歇式離子送
風來除去靜電和灰塵。
噴頭品種增加,使用更方便。從微小范圍到寬廣區(qū)域,
均可高速有效地去除靜電。噴頭品種請參見P.18~P.19頁。
放電針單元的拆卸方便,提高了維護性。
使用控制單元后,可通過外部信號對電源及供氣的ON/OFF進行一體化控制。
通過控制器的設(shè)定,可間歇(5Hz或10Hz)吹出離子風。通過間歇吹出離子風,可提高除塵效果。
帶有可通知除靜電器運行時間的清潔定時器。運行300小時或500小時后,通過LED
指示燈和輸出進行通知,因此可作為清潔的大致標準。詳細內(nèi)容請參見17頁。
※清潔時間根據(jù)使用環(huán)境而不同。
將EP監(jiān)視器的SW輸出接至控制器的SIGNAL端子,控制除靜電器
的放電和空氣的ON/OFF。
使用控制單元電磁閥的間歇動作功能,將間歇離子風吹到工
件上,可提高除塵效果。
不含除靜電器和外部連接設(shè)備。
控制輸入的關(guān)閉時間應(yīng)使用200ms以上。
可連接的電磁閥容量。電磁閥采用直動閥,應(yīng)使用防浪涌產(chǎn)品及潤滑脂用量少的產(chǎn)品。
除靜電器的清潔時間根據(jù)使用環(huán)境而不同。清潔定時器可作為大致標準使用。
請在除靜電器的使用壓力范圍內(nèi)使用。
DTY-ZKCRU(控制單元)為DTY-ZKCR(控制器)和電磁閥的組合產(chǎn)品。電磁閥的耐久性因使用條件而與除靜電器不同。
用于發(fā)塵型時,會有來自電磁閥的發(fā)塵,請加以注意。
間歇動作時,若電磁閥至除靜電器的配管距離過長,可能不能得到間歇空氣的效果,請加以注意。
測定方法采用20pF、□150mm的帶電平板監(jiān)測儀,按本公司的測定條件進行測定。
除靜電時間為±1000V~±100V的衰減時間。
使用雙頭型除靜電器和橡膠軟管噴頭,可以除去CD、DVD等的
兩個表面上的靜電和灰塵。
使用直棒式噴頭,可以除去面積較大的搬運托盤等的靜電。
使用雙頭型除靜電器和橡膠軟管噴頭,可以防止因噴墨印刷過
程中產(chǎn)生的靜電而造成的印刷質(zhì)量問題。
通過更換扇格,可以選擇除靜電范圍。
(注:請事先除去水分和油分)
可以防止從晶片盒中取出硅晶片時的放電,并預(yù)防放入晶片盒后
的硅晶片被機械臂吸住。
可以防止硅晶片表面吸附灰塵,并預(yù)防內(nèi)部晶格損壞。
扇格及放電針部件可以拆卸,因而使維護性大為提高。
可利用風量調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)風量。
采用高頻AC方式,實現(xiàn)了的電離平衡。(±10V以內(nèi))
CE標志符合產(chǎn)品。
安裝時,請勿對產(chǎn)品使用5mm以上的安裝螺絲。否則安裝螺絲可能
會碰到產(chǎn)品內(nèi)部電路板,從而導致?lián)p壞。(恒定風量風扇式時)
在設(shè)置產(chǎn)品時,請確保留有一定空間,以免堵塞吸入口。
在檢查清潔和維修產(chǎn)品時,請務(wù)必先將電源電纜線從連接插頭上
拔下。
放電針頂端部非常尖銳,在拆卸放電針部件或進行清潔時請務(wù)必小
心,否則可能會導致受傷。另外,請注意不要彎曲或彎折放電針,否則
會導致性能下降。
請勿分解放電針部件。放電針頂端非常尖銳,可能會導致受傷。
倘若使用環(huán)境惡劣(如濕度過高的環(huán)境等)或是一直不清潔放電針的
話,則會造成性能下降,因此必須定期進行維護。關(guān)于維護方法請參
閱產(chǎn)品附帶的使用說明書。
如要在外部執(zhí)行電源ON/OFF,請在輸入電源側(cè)(DC+24V側(cè))進行
操作。
使用直管螺旋噴頭,可以除去容器內(nèi)部的靜電。雜波干擾
不會因放電針產(chǎn)生的感應(yīng)電場而導致元件損壞??梢葬槍植糠秶M行除靜電。
(由于使用了軟管,因而可以讓噴頭靠近器件)
在狹窄的場所,可以使用U型管噴頭來除
去薄膜兩面的靜電。
使用雙頭型除靜電器和2根直棒式噴頭,
可以除去FPD用玻璃等的靜電。
可以通過從輸送管道的側(cè)面插入管子/軟
管來除去內(nèi)部的靜電。
以60°或90°的角度來噴射離子風。
以90°的角度來噴射離子風,
可以除去面積較大物體的靜電。
可以對大范圍區(qū)域進行除靜電。
備有除靜電范圍為100~500mm的5種類型可供選擇。
可同時除去薄膜兩面的靜電。
無需供應(yīng)壓縮空氣。根據(jù)設(shè)置場所和用途的不同,共有3種類型可供選擇。
結(jié)構(gòu)方式標準型真空吸盤KOGANEI,小金井檢測方式
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