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概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1

概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1

  • 所屬分類(lèi):松下SUNX
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2016-07-07
  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)

概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1

反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件,

通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。

因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、

下方四個(gè)方向引出電纜??筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm,

質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC) 

使用環(huán)境溫度 0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí):?10?+70℃ 

使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí): 35?85%RH 

耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 

以反射光的位置來(lái)檢測(cè),不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 

耐振動(dòng) 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí) 

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 

投光元件 LED(調(diào)制式) 

材質(zhì)  外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯 

電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜,長(zhǎng)300mm 

電纜延長(zhǎng) 0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m 

重量 本體重量:約75g 

概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1


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